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激光干涉儀的用途
發布時間:2022-02-16瀏覽次數:54


介紹激光干涉儀。

激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測量速度分辨率高的特點。其光波波長可直接定義為米,并可追溯到標準。因此,激光干涉儀廣泛應用于數控機床、PCB鉆機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制和校準、科研開發、高端設備制造等領域。

使用激光干涉儀。

激光干涉儀結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數的高精度測量。

在動態測量軟件的配合下,激光干涉儀可以實現線性位移、角度和直線度的動態測量和性能檢測,以及位移、速度、加速度、振幅和頻率的動態分析。

激光干涉儀的工作原理。

激光干涉儀發射單頻光束,將光束射入線性干涉鏡,分為兩個光束射向鏡,然后反射回分鏡,重聚回激光干涉儀。如果光程差不變,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。如果光程差發生變化,則計算并用于測量兩個光程之間的差異。

當高壓連接到陽極和陰極之間時,通過放大激光強度,刺激混合氣體形成激光束,將一些光傳輸到輸出激光束。其中,為了實現平衡,激光管的長度由加熱器控制,激光頻率的穩定精度保持在±0.05ppm以內,激光器可以在穩定輸出后進行干擾測量。目前,大多數現代位移干涉器使用氦霓虹激光管,波長633納米。

激光干涉儀的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量和壽命都與激光干涉儀的性能有關。激光頻率是激光干涉儀基本的參數,其頻率(波長)的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。

LH2000雙頻激光干涉儀.png


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